11月7日,我校威廉希尔尹韶辉教授主持的国际合作专项项目“蓝宝石晶片高效率高精度磨抛加工关键技术合作研究”课题在湖南省科技厅进行结题技术答辩,顺利通过了技术任务验收。
该课题针对高效率、高质量蓝宝石加工技术的迫切需求,研发了适用于蓝宝石晶片研抛的磁性复合流体化学机械抛光技术,并将该技术与 ELID 镜面磨削相结合,形成一种新的组合加工方法。提出了大面积抛光膜的磁流变抛光新方法与直线梯度磁场励磁方法、蓝宝石ELID磨削方法、复合型磁性复合流体配置等多项关键技术。在大面积去除磁流变抛光、蓝宝石晶片ELID磨削与磁流变抛光组合加工技术、智能复合型磁性流体开发等方面具有创新性。在技术方面研制了磁流变平面抛光机,制定了企业标准,通过了省级科技成果鉴定,达到国际先进水平。抛光蓝宝石获得了PV 4.8μm的面形精度和Ra 0.3 nm的表面粗糙度。并在在光学企业成功推广应用,创造了良好的经济效益。 培养的博士生王永强的博士学位论文,在2000多本机械工程博士论文中脱颖而出,获得第七届上银优秀博士论文奖。该课题的研究对提高我国蓝宝石晶片的超精密加工技术水平,建立拥有自主知识产权的高效、无损、超光滑平整加工技术,具有重要的理论和实际意义。